真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。
真空泵主要技術(shù)性能（真空度等）達(dá)到設(shè)計(jì)要求或滿足工藝要求，附屬設(shè)備（冷凝器等）齊全；沒備運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，聲響正常，無過熱現(xiàn)象，封閉良好。
真空泵設(shè)備潤滑系統(tǒng)完好，潤滑油質(zhì)符合規(guī)定要求，并定期進(jìn)行檢查，換油。各種儀表（如真空表等）指示值正確，并定期進(jìn)行校驗(yàn)；各閥門啟閉靈活、密封良好，無泄漏現(xiàn)象；管道無泄漏，并定期進(jìn)行檢查。電動(dòng)機(jī)配備合理，運(yùn)行正常（溫升和聲響正常），電氣線路安全可靠，有接地保護(hù)措施，電氣裝置（控制柜）可靠，電氣儀表指示正確；安全防護(hù)裝置齊全可。設(shè)備及冷卻系統(tǒng)設(shè)施整潔，無銹蝕。
真空泵冷卻系統(tǒng)運(yùn)行正常，冷卻裝置完好，排水溫度不超過規(guī)定要求，應(yīng)有斷水保護(hù)裝置。一般來說所用的工作液都是水。礦用單軸振動(dòng)篩作用在轉(zhuǎn)子葉輪上的能量被液體接收并傳給被壓縮的氣體，這樣就造成了水環(huán)的溫度升高。水環(huán)的部分水與氣體一起壓縮排除泵外。在壓縮過程中產(chǎn)生的大部分熱量被帶走。因而需要不斷的補(bǔ)充新鮮的水，以使水環(huán)泵的工作溫度能夠維持恒定。
在多數(shù)的真空泵中，其工作溫度約為15-20℃，它取決于所補(bǔ)充水的溫度。實(shí)際上，水環(huán)泵的極限壓力并不十分重要，因?yàn)椴煌囊后w，在壓力低于50-60hPa時(shí)，會(huì)發(fā)生氣蝕現(xiàn)象，泵的部件會(huì)遭到損壞。當(dāng)泵接近極限壓力時(shí)，抽速很低，泵入口處的水開始沸騰。當(dāng)轉(zhuǎn)至泵的出口時(shí)，形成的氣泡開始破裂。這樣就會(huì)產(chǎn)生很大的噪聲，同時(shí)泵的驅(qū)動(dòng)輪和泵腔等部件被逐漸破壞。這種現(xiàn)象通常稱作氣蝕現(xiàn)象。一旦氣蝕現(xiàn)象發(fā)生，就要通過小閥引入少量的新鮮空氣。振動(dòng)篦板在這種情況下，在入口官道上開個(gè)小孔，以便定量地加入些新鮮的其他，如果使用氣體噴射器，氣蝕現(xiàn)象就不會(huì)產(chǎn)生了。
